É interessante notar que o desenvolvimento
do processo Planar, lançado em 1959, foi oriundo da tecnologia de
fabricações de câmeras e materiais correlatos para fotografia, campo
no qual esta companhia tinha grande experiência.
Basicamente, o processo de fabricação empregava uma película de
material fotossensível, a qual se polimerizava sob a ação da luz
ultravioleta denominado de PHOTORESIST.
Sobre a matriz de Silício previamente tratada com o PHOTORESIST,
aplicava-se uma mascara fotográfica com a configuração das funções
do semicondutor. Sob a ação da luz ultravioleta,as partes expostas
da película PHOTORESIST eram sensibilizadas e, assim impressas
na matriz; as demais partes eram removidas, geralmente por um processo
de lavagem.
Com a matriz de Silício assim configurada, procedia-se então, o
subseqüente estágio de ataque para a impressão final da configuração
do semicondutor.
Por meio deste processo obtinha-se uma impressão precisa, reproduzindo-se
todos os detalhes do layout tais como: furos, imagens, pequenos
planos, etc, impossível de se conseguir por meio das mascaras
mecânicas usadas na fabricação do transistor Mesa.
Como todos os elementos da configuração na matriz estavam localizados
em um mesmo plano, os engenheiros cognominaram-no como transistor
Planar.
Semelhante às tecnologias anteriores, o processo Planar, apresentava
também a sua desvantagem a qual consistia na sua incapacidade de
se obter transistores de potência devido à alta resistência encontrada
no material usado na fabricação do coletor. Em junho de 1960, os
laboratórios Bell, o mesmo que havia inventado o primeiro amplificador
estado sólido, desenvolveu o processo epitaxial de fabricação
de transistores.
O processo epitaxial consistia
no crescimento de uma fina camada de Silício sobre o substrato do
cristal singelo.
Uma vez que a resistência da camada era diferente daquela do substrato,
permitia a produção do semicondutor dentro da camada epitaxial cujas
características eram independentes do material usado no substrato.
Desta maneira podia-se fabricar um transistor sobre um substrato
resistente e espesso, tendo agora uma base fina, capaz de operar
em alta freqüência e, um coletor com baixa resistência podendo fornecer
maior potência.
Em 1960, a tecnologia de fabricação do transistor bipolar tinha
atingido avanços consideráveis. Entretanto,
os laboratórios de pesquisas não estavam parados e, assim
tendo como base o processo Planar desenvolveram um outro conceito
de amplificador estado sólido, o transistor de efeito de campo.
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